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                                     涂层测厚仪

                  涂层测厚仪适用于研发和半导体,FPD,纳米技术,电子材料及特殊涂层生产线中的涂层测量.例如在半导体行业,需根据图样精确地获取晶圆表面的各个涂层沉积。涂层测量系统是用来监控工序并通过测量涂层的厚度决定产品的质量。

                      测量涂层厚度有许多种方法。其中最常见的是基于机械技术的触针方法,显微镜技术和光学技术。

                      本涂层测厚仪是光学技术方法。因而由涂层表面的反射光和基板表面反射光之间的干涉现象或是光的相位差决定涂层的性质。这样我们不但可以测量涂层厚度还可测量光学常数。如果是透明涂层且可维持光的干涉性,便可用ST系列测量任何样品。通过数学计算,多层涂层的每层厚度都可测量。由于采用的是用户友好界面,操作十分简单。 样品不会受到损害,并可快速测量从Å到数十μm的大范围厚度。

                   

                  一、测量原理

                   利用光的间接测量

                   &信号通道

                         光源发出的可见光(卤钨灯) => 涂层层(样品)=> 表面和界面的反射 => 光纤探针 => 分光计(检测器) =>

                  通过光栅波长分解 => CCD电子信号转换 => A/D转换 => 通过 USB连接电脑 => 软件

                   通过光谱拟合厚度测量

                     根据涂层厚度和折射率(N&K)光谱呈现特殊的形状。

                     通过拟合计算光谱和测量光谱将涂层厚度最优化时可计算出厚度。 

                   

                  涂层测厚仪, 为研发和实验室提供不同的模式

                  ST2000-DLXn (ST2K)

                  ST4000-DLX (ST4K)

                  ST5030-SL

                   

                  涂层测厚仪 : R&D 实验室规模

                  非接触/非破坏性

                  反射计

                  实时测量,多点显示

                  基于软件的Windows ( Excel, Origin, MS-Word save)

                  各种n, k 模式(Cauchy, Cauchy Expotential, Sellmeier)

                  2D,3D 测绘数据显示 (逐点详述)
                  半自动机械平台控制
                  快速测量,操作简便
                  CCD摄像头 + 自动对焦

                   

                   

                  二、系统组件

                  标准件

                   

                   

                  2048像素CCD 阵列

                  MTS75S(ST2K) / Olympus (ST4K, ST5030)

                     

                  200 反射光纤

                  光学透镜

                  M4X, M10X (ST2K);   M5X, M10X (ST4K, ST5030);   M50X(Option)

                     

                  VisualThick3.xx(ST2K & ST4K) ;   AThickOS(Optional);   VisualThickA (ST5030)

                   

                   

                  配件

                   

                   

                  线

                  USB 线缆

                     

                  标准样品

                  线

                  110220V, 1

                      CD

                  软件 & 操作指南

                     

                  操作指南

                  快速指南

                  快速指南

                  主备用灯泡

                  12V, 100W,卤钨灯(ST4K,ST5030);  12V, 35W,卤钨灯 (ST2K)

                  聚焦备用灯泡

                  5V, 6W, 卤钨灯

                  SRM (option)(标准参考样品)

                  晶圆表面硅上面二氧化硅上生成的四个热氧化涂层。

                  CCD摄像头(选项)

                  640×480 彩色CCD

                   

                   

                   

                  ST2000-DLXn 涂层测厚仪

                  基本组件

                      检测器 (顶点用于测量)

                      用于反射的光纤

                      电源线

                      显微镜

                      10倍物镜

                      4倍物镜

                      卤素灯

                      数据线

                  可选项目

                      40倍物镜(用于表面观察)

                      CCD 摄像头

                      标准样品

                   

                  ST4000-DLX 涂层测厚仪

                  基本组件

                      检测器(顶点用于测量)

                      用于反射的光纤

                      电源线

                      显微镜

                      5倍物镜

                      10倍物镜

                      卤素灯

                      8”平台

                      滤波器

                      数据线

                  可选项目

                      50倍物镜

                      CCD 摄像头

                      12” 平台

                      透射模块

                      标准样品

                   

                  ST5030-SL 涂层测厚仪

                  基本组件

                      检测器(顶点用于测量)

                      用于反射的光纤

                      电源线

                      显微镜

                      5倍物镜

                      10倍物镜

                      卤素灯

                      12”平台

                      滤波器

                      数据线

                      CCD 摄像头

                      测量系统

                  可选项目

                      标准样品

                      防震台

                   

                  三、系统软件

                  操作系统 : VThick3.xx

                  ST2000-DLXn & ST4000-DLX的操作软件

                  操作软件 : AThickOS

                  ST2000-DLXn & ST4000-DLX (可选) 的操作软件

                  操作系统 : VisualThickA

                  ST5030-SL的操作软件

                   

                   

                  四、性能指标

                   

                  ST2000-DLXn 涂层测厚仪

                   

                   

                  测量范围

                  20nm35

                  测量分辨率

                  1.5nm

                  测量速度

                  12 sec/site

                  平台尺寸

                  150×120mm  (70×50 mm 移动)

                  测量样品尺寸

                  ≤ 4”

                  光斑尺寸

                  一般为20

                  测量原理

                  反射计

                  测量方法

                  非接触

                  类型

                  手动

                  尺寸

                  190×265×316 mm

                  适用温湿度

                  5 35°C , 3080% RH

                  重量

                  12Kg

                  旋转头

                  三目旋转头

                  照明

                  控制装置和变压器内置12V/35W卤素灯

                   

                   

                   

                  特性

                   快速测量 & 操作简便

                   非接触 & 非破坏性

                   良好的重复性和再现性

                   基于用户易操作界面的Windows

                   各个视图和储存数据的打印功能

                   测量可达3

                  应用领域

                    : PVA, PET, PP, PR

                   介质材料 : SiO2, TiO2, ZrO2, Si3N4

                    : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS

                   

                   

                  ST4000-DLX 涂层测厚仪

                   

                  测量范围

                  10nm35

                  测量分辨率

                  1nm

                  测量速度

                  12 sec/site

                  平台尺寸

                  200mm×200mm(8”)

                  300mm×300mm(12”)

                  测量样品尺寸

                  ≤ 8”, 12”(可选)

                  光斑尺寸

                  40/20, 4(可选)

                  测量原理

                  反射计

                  测量方法

                  非接触

                     

                  手动

                     

                  500×610×640 mm

                     

                  45Kg

                  适用温湿度

                  5 35°C , 3080% RH

                     

                  同轴粗微及细焦控制

                     

                  12V/100W 卤素灯

                   

                   

                   

                  可选项目

                   标准样品

                   CCD 摄像头

                   透射模块

                   Z轴自动轴系运动(透镜)

                  特性

                   快速测量 & 操作简便

                   非接触 & 非破坏性

                   良好的重复性和再现性

                   基于用户易操作界面的Windows

                   视图和储存数据的打印功能

                  应用

                   具备ST2000的所有功能且测量更精确

                   用于晶圆测量和 OLED

                   

                   

                   

                  ST5030SL 涂层测厚仪

                  测量范围

                  10nm35

                  测量分辨率

                  1nm

                  测量速度

                  12 sec/site

                  平台尺寸

                  300mm×300mm

                  测量样品尺寸

                  412”

                  光斑尺寸

                  40/20, 4(可选)

                  测量原理

                  反射计

                  测量方法

                  非接触

                     

                  自动

                      

                  500×750×650 mm

                     

                  100Kg

                  适用温湿度

                  5 35°C , 3080% RH

                     

                  12V / 100W 卤素灯

                  可选项目

                  标准样品  防震台

                   

                   

                   

                  特性

                   快速测量 & 操作简便

                   非接触 & 非破坏性

                   良好的重复性和再现性

                   基于用户易操作界面的Windows

                   各个视图和储存数据的打印功能

                   2D / 3D 绘制与曲面轮廓

                   自动平台控制 & 防震台

                   CCD 摄像头

                   自动对焦功能

                  应用领域

                   具备ST2000的所有功能且测量更精确

                   用于大型晶圆测量。

                   

                  五、适用材料   10 Å ()=1nm (纳米)1000nm=1μm (微米)

                  测量范围 (单位Å)

                  试样(Å)

                  重复性(Å)30times

                  SRM

                  1) SiO2/Si

                  30020000

                  5000

                  2

                  a-Si

                  1) a-Si/Glass

                  10050000

                  1500

                  2.5

                  Poly-Si

                  1) Poly-Si/SiO2/Si

                  10050000(Poly-Si)/30020000 (SiO2)

                   

                  2.5

                  n+a-Si

                  1) n+a-Si/Glass

                  10050000

                  1500

                  2.5

                  2) n+a-Si/a-Si/Glass

                  10050000

                  2000

                  5

                  3) n+a-Si/Metal

                  10050000

                  1500

                  2.5

                  4) n+a-Si/a-Si/Metal

                  10050000

                  2000

                  5

                  SiNx

                  1) SiNx/Glass

                  10060000

                  4000

                  5

                  2) SiNx/Si

                  10060000

                  4000

                  5

                  3) SiNx/SiO2/Si

                  10060000(SiNx)/30020000 (SiO2)

                  4000

                  5

                  4) a-Si/SiNx/Glass

                  20050000(a-Si) / 20050000 (SiNx)

                  2500/4000

                  6 / 10

                  5) n+a-Si/a-Si/SiNx/Glass

                   

                   

                   

                  6) SiNx/Metal

                  10050000

                  4000

                  5

                  7) a-Si/SiNx/Metal

                  20050000(a-Si) / 20050000 (SiNx)

                  2500/4000

                  6 / 10

                  8) n+a-Si/a-Si/SiNx/Metal

                   

                  2500/4000

                  6 / 10

                  PR

                  1) PR/Glass

                  100100000

                  15000

                  15

                  2) PR/Metal

                  500100000

                  15000

                  10

                  3) Negative PR/Si

                  500100000

                  15000

                  10

                  4) Negative PR/SiO2/Si

                  500100000(PR)/30020000 (SiO2)

                   

                   

                  5) Positive PR/Si

                  500100000

                  15000

                  10

                  6) Positive PR/SiO2/Si

                  500100000(PR)/30020000 (SiO2)

                   

                   

                  O.C

                  (or PS)

                  1) O.C/Glass

                  100050000

                  40000

                  10

                  2) O.C/SiNx/Glass

                  50050000(O.C)/50030000(SiNx)

                  2500/4500

                  25/20

                  ITO

                  1) ITO/Glass

                  1000200000

                  1500

                  3

                  CF

                  (RGB)

                  1) CF/Glass

                  700030000

                  15000

                  30/20/10

                  2) CF/BM

                  700030000

                  1500

                  7/15/20

                  3) ITO/CF/Glass

                  1500 (ITO) /15000 (Blue CF)

                  1500/15000

                  10/30

                  PI

                  1) PI/Glass

                  10070000

                  1000

                  5

                  2) PI/ITO/Glass

                  30010000 (PI)/200100000 (ITO)

                  500/1000

                  10/8

                  3) PI/Si

                  10070000

                  1000

                  5

                  Film

                  Thick Film

                  550

                   

                  10

                  反射模式

                  400800nm

                   

                  2%

                  10 Å ()=1nm (纳米)1000nm=1μm (微米)

                   

                   

                   

                   

                   

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